1、引言

　　VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

　　2、主要技術指標

　　電機功率：350W

　　電源：AC220V 50Hz

　　速度范圍：500rpm-10000rpm

　　程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段

　　增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

　　時間范圍：0-60s

　　吸盤：Ø19mm、Ø60mm

　　本機可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃；加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質聚四氟；溫度單獨控制，與主機程序控制無關聯；

　　尺寸：450mm×280mm×340mm

　　重量：20kg